2. 1차 중간 보고

                 종합설계 프로젝트 1차 중간보고서 요약

팀명

EDS

제출일

2012 9 27

프로젝트 제목

반도체 식각공정 모니터링 시스템

설계프로젝트 개요

프로젝트 수행 내용 및 중간 결과

프로젝트 요약문

반도체 산업은 1950년대 중반부터 급격히 일어나기 시작한 우주 개발과 미사일 등 새 군용 기기의 발전을 시작으로 직결되어, 현대에 이르러서는 소형·경량의 고신뢰성 전자부품의 필요성으로부터 본격적인 마이크로 일렉트로닉스(microelectronics) 시대로 접어들게 되었고, 이에 따라 세계 각국에서 개발 경쟁을 치열하게 벌이고 있다.

특히 반도체 제조 공정에서 발생하는 불량을 사전에 방지하여, 불량으로 인한 피해를 줄이기 위해 공전중단점(End-point)을 감지하는 기술에 관심이 쏠리고 있다. 실제로 반도체 회로를 형성하는 식각 공정에서의 불량은 비용적으로 큰 피해를 야기 시킨다.

따라서 반도체 식각 공정을 실시간으로 관찰하고 정해진 시나리오에 의한 공정 관리·제어를 통해 불량을 사전에 방지하여 피해를 줄이고 공정 관리 자동화 효율을 극대화하는 모니터링 시스템을 구현한다.

마일스톤 수행 내용

1. OES Thread 설계
2. Configure Pane UI
3. Equation Dialog UI
4. Trigger Dialog UI
5. Equation 클래스 설계
6. Dialog <-> Sensor Module Object 데이터 교환 방식 설계
7. Real-Time Chart Equation 소스 display 설계

다음 마일스톤 일정

1. Sequence Dialog UI
2. Trigger 클래스 설계
3. Real-Time Chart Snapshot 소스 display 설계
4. Real-Time Chart Sequence 소스 display 기반 구성
5. Sequence 구성 클래스 설계